本報(bào)訊 （記者李昱丞）1月28日，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件領(lǐng)軍企業(yè)深圳市恒運(yùn)昌真空技術(shù)股份有限公司（以下簡稱“恒運(yùn)昌”，688785.SH）正式在上海證券交易所鳴鑼上市，成為2026年第一家科創(chuàng)板上市企業(yè)，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈又添一員。

    打破海外壟斷

    穩(wěn)居國產(chǎn)射頻電源第一梯隊(duì)

    恒運(yùn)昌的核心產(chǎn)品等離子體射頻電源系統(tǒng)被譽(yù)為控制等離子體的“納米手術(shù)刀”，直接決定芯片刻蝕與薄膜沉積工藝的精度與良率，是半導(dǎo)體設(shè)備中最核心、技術(shù)壁壘最高的零部件之一。長期以來，這一領(lǐng)域被美國MKS與AE兩大巨頭壟斷，2024年國產(chǎn)化率不足12%。

    面對(duì)這一技術(shù)關(guān)卡，恒運(yùn)昌堅(jiān)持自主創(chuàng)新，歷經(jīng)十余年持續(xù)投入，成功構(gòu)建了涵蓋信號(hào)采樣與處理、相位鎖定、同步控制等在內(nèi)的三大基石技術(shù)體系，并衍生出八大產(chǎn)品化支撐技術(shù)，形成完全自主可控的核心技術(shù)鏈。公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代產(chǎn)品系列，其中第二代Bestda系列已支持28納米制程，第三代Aspen系列更可覆蓋7-14納米先進(jìn)制程，達(dá)到國際先進(jìn)水平，填補(bǔ)國內(nèi)空白。

    截至2025年6月30日，公司累計(jì)獲得261項(xiàng)授權(quán)專利，其中發(fā)明專利108項(xiàng)，另有133項(xiàng)發(fā)明專利處于申請(qǐng)階段，同時(shí)承擔(dān)工業(yè)和信息化部、科技部三項(xiàng)國家級(jí)重大科研課題。

    憑借技術(shù)突破與產(chǎn)品迭代，恒運(yùn)昌迅速贏得市場認(rèn)可。根據(jù)弗若斯特沙利文權(quán)威統(tǒng)計(jì)，2024年恒運(yùn)昌在中國大陸半導(dǎo)體行業(yè)國產(chǎn)等離子體射頻電源系統(tǒng)廠商中市場份額高居第一，成為國產(chǎn)替代的核心力量。公司已與拓荊科技、中微公司、北方華創(chuàng)、微導(dǎo)納米、盛美上海等國內(nèi)頭部半導(dǎo)體設(shè)備商建立深度戰(zhàn)略合作關(guān)系，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于刻蝕、PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法）、ALD（原子層沉積法）等關(guān)鍵制程，并最終進(jìn)入中芯國際等晶圓廠產(chǎn)線。

    在國產(chǎn)化浪潮推動(dòng)下，恒運(yùn)昌業(yè)績實(shí)現(xiàn)快速增長。招股書顯示，2022年至2024年，公司營收從1.58億元躍升至5.41億元，年均復(fù)合增長超80%；扣非后歸母凈利潤從1961.17萬元增長至1.29億元，盈利能力持續(xù)增強(qiáng)。

    募投項(xiàng)目精準(zhǔn)布局

    夯實(shí)產(chǎn)能、研發(fā)與服務(wù)三大支柱

    本次科創(chuàng)板IPO，恒運(yùn)昌的募集資金將全面用于提升公司在半導(dǎo)體核心零部件領(lǐng)域的綜合競爭力，重點(diǎn)投向沈陽半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目、半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能化生產(chǎn)運(yùn)營基地項(xiàng)目、研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目、營銷及技術(shù)支持中心建設(shè)項(xiàng)目以及補(bǔ)充流動(dòng)資金五大方向，將系統(tǒng)性強(qiáng)化產(chǎn)能保障、技術(shù)領(lǐng)先與客戶服務(wù)能力。

    其中，沈陽半導(dǎo)體射頻電源系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化建設(shè)項(xiàng)目擬建設(shè)現(xiàn)代化生產(chǎn)基地，大幅提升等離子體射頻電源系統(tǒng)的量產(chǎn)能力。半導(dǎo)體與真空裝備核心零部件智能化生產(chǎn)運(yùn)營基地項(xiàng)目和研發(fā)與前沿技術(shù)創(chuàng)新中心項(xiàng)目將進(jìn)一步豐富和拓展低頻大功率等離子體射頻電源、PVD（物理氣相沉積法）直流濺射電源、遠(yuǎn)程等離子體源等產(chǎn)品，加碼公司研發(fā)產(chǎn)品儲(chǔ)備，并探索在光伏、顯示面板、精密光學(xué)等領(lǐng)域的應(yīng)用延伸。

    面向市場，恒運(yùn)昌將在全國主要半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群，包括在長三角地區(qū)、珠三角地區(qū)、京津冀地區(qū)、中西部地區(qū)等關(guān)鍵區(qū)域設(shè)立技術(shù)支持中心，打造“產(chǎn)品+服務(wù)”一體化解決方案能力。

（編輯 李家琪）