本報記者 徐一鳴 見習記者 孫文青

    4月28日晚，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）發(fā)布2023年一季報。今年一季度，公司實現(xiàn)營業(yè)收入12.23億元，同比增長28.86%；實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤2.75億元，同比增長134.98%。

    中微公司表示，支撐公司業(yè)績增長的主要原因為公司各半導體設備產(chǎn)品銷量的增長。

    報告期內，中微公司的刻蝕設備在國內外市場占有率不斷提高。其中，在國際最先進的5nm芯片生產(chǎn)線及下一代更先進的生產(chǎn)線上，公司的CCP刻蝕設備實現(xiàn)了多次批量銷售，已有超過200臺反應臺在生產(chǎn)線合格運轉。另外公司的ICP刻蝕設備不斷地核準更多刻蝕應用，迅速擴大市場并不斷收到領先客戶的批量訂單。今年一季度，刻蝕設備收入為8.14億元，較上年同期增長約13.94%，毛利率達到47.29%。

    同時，報告期內，中微公司的MOCVD設備實現(xiàn)收入1.67億元，較上年同期增長約300.48%，毛利率達到40.09%。

    在披露一季報的同時，中微公司還公告稱，擬受讓國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司持有的睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“上海睿勵”）6.7575%股權。

    集成電路芯片生產(chǎn)設備包括光刻、刻蝕、薄膜、工藝檢測、清洗、離子注入等諸多個細分種類。工藝檢測設備是為芯片生產(chǎn)各工藝提供監(jiān)測數(shù)據(jù)以確保各項工藝指標滿足要求從而提高成品率的關鍵性設備。隨著芯片工藝不斷向更小節(jié)點發(fā)展，芯片生產(chǎn)過程中的所需檢測的步驟和頻次越來越高，對工藝檢測設備的需求量隨之增加。2022年，上海睿勵實現(xiàn)的營收和凈利潤分別為7186.26萬元和虧損2920.95萬元。

    中微公司稱，此次對上海睿勵的股權收購有利于進一步促進公司產(chǎn)業(yè)鏈延伸，有利于公司培育新的業(yè)務增長點，促進公司健康發(fā)展。

（編輯 上官夢露）